电子行业：金元证券-电子行业微纳世界的建筑师：光刻技术深度解析-250728

- 光刻技术是半导体制造的关键工艺，决定了集成电路的性能和技术节点的进步。

- 随着EUV光刻需求的提升，预计相关设备市场规模将在2025年达到312.74亿美元。

- 半导体市场的快速增长将推动DRAM和先进逻辑芯片的需求，相关公司在设备制造和材料供应方面具备投资潜力。

光刻技术是半导体制造中的关键工艺，涉及多个步骤和掩模层。

以0.13μm CMOS集成电路为例，制造过程中有474个步骤，其中212个与光刻曝光相关。

光刻技术不仅影响掩模层的需求，还决定了技术节点的限制因素。

每个新节点的特征尺寸通常降低至上一个节点的约70%。

逻辑芯片和存储芯片在光刻要求上存在差异，逻辑电路的最小线距出现在金属互连层，而存储阵列的线距则相对固定。

光刻工艺的基本流程包括旋涂光刻胶、预烘烤、曝光和显影。

掩模版的制造是光刻的前提，通常通过直写光刻技术完成，激光和电子束直写设备用于不同工艺节点的掩模制造。

光刻机的光源类型多样，包括高压汞灯、准分子激光器和EUV光源，后者依赖激光等离子体技术生成。

光刻机的成像系统是技术核心，材料选择对光刻分辨率和成像质量至关重要。

预计到2024年，光刻相关设备市场规模将达到293.67亿美元，随着2nm工艺的引入，预计2025年将增至312.74亿美元。

AI、大数据和云计算的快速发展将进一步推动半导体需求，特别是DRAM和先进逻辑芯片的生产。

相关公司包括设备制造商和材料供应商，面临的风险包括市场周期性、设备折旧、专利垄断及研发成本高等。

整体来看，光刻技术在半导体产业链中占据重要地位，未来发展前景广阔。

投资标的及推荐理由如下： 1. 汇成真空（301392.SZ） 推荐理由：作为设备厂商，汇成真空在光刻技术相关设备的制造中具有重要地位，随着半导体市场的快速发展，其产品需求有望持续增长。

2. 芯源微（688037.SH） 推荐理由：芯源微专注于光刻设备的研发和生产，随着2nm工艺的导入和EUV光刻需求的提升，公司有望受益于行业的技术进步和市场扩张。

3. 中科飞测（688361.SH） 推荐理由：中科飞测在掩模版制造设备方面具有竞争优势，随着对高精度掩模版需求的增加，公司产品的市场前景看好。

4. 芯碁微装（688630.SH） 推荐理由：作为光刻工艺中重要的设备制造商，芯碁微装在市场中占有一席之地，未来随着半导体行业的发展，其产品需求将显著增长。

5. 华特气体（688268.SH） 推荐理由：华特气体在激光源混合气领域具备技术优势，随着光刻工艺的升级，其产品在市场中的应用需求将持续上升。

6. 凯美特气（002549.SZ） 推荐理由：凯美特气在气体供应方面的稳定性和技术能力，为光刻设备的高效运行提供了保障，未来市场前景良好。

7. 茂莱光学（688502.SH） 推荐理由：作为高精度光学件的制造商，茂莱光学在光刻机成像系统中扮演重要角色，随着市场对高分辨率光刻技术的需求增加，其产品将受到青睐。

8. 福晶科技（002222.SZ） 推荐理由：福晶科技在投影物镜领域具有技术优势，随着EUV光刻的普及，其产品需求有望快速提升。

风险提示：光刻技术相关设备材料属于集成电路上游，周期性较强，设备折旧成本高，产能不及预期对利润影响大，相关产品专利权被海外巨头垄断，设备研发周期长，研发费用支出较大，先进制程催化光刻机需求，AI产业链进展不利影响，研发进度不及预期，产能爬坡较慢，毛利率下滑。